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KYWX2024040046-CFA开发(XJ024042900817)

所属地区 安徽 - 蚌埠 预算金额
项目编号 KYWX2024040046-CFA 投标截止日期
招标单位 华东*******究所 招标联系人/电话
代理机构 代理联系人/电话
  • 公告详情
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基本信息

发布单位:****光电集成器件研究所

最终单位:****光电集成器件研究所

参与方式:公开****

出价方式:*次性出价

付款方式:

保证金:***.*元

联系人:****

联系方式:***********

**************-***要求.****
采购明细
序号
商品名称
品类
采购数量
最少响应量
* **************-***开发 外协&**;其他 *.*次 *.*次
可报价时间

开始时间 ****-**-** **:**:**

结束时间 ****-**-** **:**:**

备注:

*.***需求
在*****晶圆表面进行***制作,需求具备*英寸加工能力并具备***相关加工工艺的工艺线。
暗参靠行(*****)
暗参考列(*****)
成像区
共****×****个
*********方形单元
器件像素阵列图
***** ***** **
*
*
*
***
* * * * * *
* * *
*********
***
*******排布示意图
单个方块为****×****,实际单个颜色覆盖大小约为**.***×**.***(根据光刻机性能,覆盖面积越大越好),分*次光刻,*次*种颜色。
*.***工艺流程
输入 *英寸晶圆
○* 清洗 **兆声波清洗:**** 冲水*次甩干
○* ***光刻 亲合:(***±**)℃ (**±*)*
胶厚:(*.*±*.*)μ*, 前烘:**℃ ***
后烘:***℃ ***, 显影:(**±*)*
坚膜:***℃ *****
□* 光刻检验 **:*.*μ*±*.*μ*
*******:<*.*μ*
图形边缘清晰,图形完整、显影干净
○* ****光刻 亲合:(***±**)℃ (**±*)*
胶厚:(*.*±*.*)μ*, 前烘:**℃ ***
后烘:***℃ ***, 显影:(**±*)*
坚膜:***℃ *****
□* 光刻检验 **:*.*μ*±*.*μ*
*******:<*.*μ*
图形边缘清晰,图形完整、显影干净
○* *****光刻 亲合:(***±**)℃ (**±*)*
胶厚:(*.*±*.*)μ*, 前烘:**℃ ***
后烘:***℃ ***, 显影:(**±*)*
坚膜:***℃ *****
□* 光刻检验 **:*.*μ*±*.*μ*
*******:<*.*μ*
图形边缘清晰,图形完整、显影干净
*.***透过率性能指标:
*=***峰值透过率≥**%
*=*****峰值透过率~***%
*=****峰值透过率≥**%
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